發(fā)布時(shí)間:2023-09-30 21:44:40 人氣:3182
無塵車間的分類,無塵車間的分類。凈化工程指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過程即可稱為凈化工程。無菌車間大部分凈化廠房尤其電子工業(yè)用的潔凈廠房都有嚴(yán)格的恒溫、恒濕的要求,不僅對(duì)廠房?jī)?nèi)的溫、濕度有嚴(yán)格的要求,而且對(duì)溫度和相對(duì)濕度的波動(dòng)范圍也有嚴(yán)格的要求。無塵室凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過濾器三級(jí)過濾。100000級(jí)空氣凈化處理,可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。如何劃分無塵車間等級(jí)和無塵車間等級(jí)標(biāo)準(zhǔn).
不熟悉潔凈室的朋友可能無法匹配潔凈室的水平。在這里,我將介紹與無塵車間的新接觸的無塵車間等級(jí)。我希望能幫到你!
無塵車間是凈化車間、凈化車間,又稱無塵室或潔凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有潔凈室,就不可能批量生產(chǎn)被污染的敏感部件。在FED-STD-2中,潔凈室被定義為具有空氣過濾、分配、優(yōu)化、建筑材料和設(shè)備的房間,在該房間中,使用特定和常規(guī)的操作程序來控制空氣中懸浮顆粒物的濃度,以達(dá)到適當(dāng)?shù)念w粒物水平。保持潔凈。
所謂的無塵車間是一種人工環(huán)境,其所含的粒子遠(yuǎn)少于一般環(huán)境。隨著集成電路技術(shù)的迅速發(fā)展,也增加了制造環(huán)境(無塵車間)對(duì)潔凈的需求。即使在工業(yè)上粒子的大小小于1微米,也可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)行或縮短其壽命。由于納米技術(shù)的興起,半導(dǎo)體的臨界尺寸不斷縮小,集成電路的濃度不斷提高,塵埃粒子更有可能使芯片的可靠性失效或惡化。例如,當(dāng)金屬塵埃落在金屬線上時(shí),可能會(huì)造成金屬線短路。如果有酸性離子化合物塵埃顆粒落在金屬導(dǎo)體上,它們可能會(huì)被腐蝕,因此無塵車間是集成電路制造中不可或缺的元素。建造無塵車間
無塵車間等級(jí)劃分:
根據(jù)美國(guó)政府頒布的標(biāo)準(zhǔn),無塵車間可分為六層。它們是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí):
1級(jí):此級(jí)潔凈室主要用于微電子工業(yè)制造集成電路。集成電路的精確要求是亞微米級(jí)。
10級(jí):該級(jí)無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體行業(yè)。
100級(jí):許多人認(rèn)為這種級(jí)別的無塵車間是最常用的,因此也是最重要的無塵車間。人們常常錯(cuò)誤地將100類潔凈房間稱為無菌房間,以說明無菌或無塵的環(huán)境要求。100級(jí)無塵房間可用于制藥工業(yè)的無菌制造過程等。這個(gè)干凈的房間被廣泛地用于身體物品的制造,手術(shù),包括移植,積分器的制造,以及對(duì)細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離。治療,例如,骨髓移植后患者隔離治療。
1000級(jí):本級(jí)無塵車間主要用于生產(chǎn)高品質(zhì)的光學(xué)產(chǎn)品,也可用于飛機(jī)蝸牛的檢測(cè)、裝配、高品質(zhì)的微軸承裝配等。
10000級(jí):10,000級(jí)潔凈室用于組裝液壓設(shè)備或氣動(dòng)設(shè)備。在某些情況下,它也用于食品和飲料行業(yè)。此外,10,000級(jí)潔凈室也常用于醫(yī)療行業(yè)。