2英寸高真空磁控濺射頭--HVMSS-SPC-2-LD

簡(jiǎn)要描述：HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭，可適用的靶材種類(lèi)較廣，如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環(huán)形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。

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更新時(shí)間：2025-02-10
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薄膜制備全套設(shè)備

3靶等離子濺射儀火焰輔助噴霧熱分解涂覆設(shè)備超聲波霧化模塊多功能試樣表面處理機(jī) 小型蒸鍍儀高真空蒸發(fā)鍍膜儀小型磁控射頻濺射鍍膜儀射頻等離子磁控濺射鍍膜儀直流等離子磁控濺射鍍膜儀雙靶磁控濺射儀提拉涂膜設(shè)備旋轉(zhuǎn)涂層設(shè)備（勻膠機(jī)）流延涂覆機(jī) 蒸發(fā)鍍膜設(shè)備磁控濺射鍍膜設(shè)備等離子鍍膜設(shè)備熱噴涂鍍膜設(shè)備/靜電紡絲鍍膜設(shè)備濺射源及真空腔體查看全部產(chǎn)品

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詳細(xì)介紹

HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭，可適用的靶材種類(lèi)較廣，如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環(huán)形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。

技術(shù)參數(shù)

特征 (點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）	采用高質(zhì)量的不銹鋼和陶瓷材料制作采用電磁場(chǎng)的有元計(jì)算法來(lái)設(shè)計(jì)永磁體，以得到較高的磁場(chǎng)強(qiáng)度和均強(qiáng)場(chǎng)分布磁體表面涂有一層保護(hù)層，以防止冷卻水的腐蝕，延長(zhǎng)其使用壽命標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配安裝是采用標(biāo)準(zhǔn)真空接頭，便于操作更換靶材較為簡(jiǎn)單，無(wú)需調(diào)整濺射頭的高度
所需功率	DC（zui大）1000W RF（zui大）500W
zui大濺射電流	3A
濺射電壓	100-1000 V
濺射時(shí)腔體真空度	5-100 mTorr
濺射均勻性曲線圖
尺寸	陽(yáng)極護(hù)套直徑：3.5英寸總長(zhǎng)度：14英寸
靶材	直徑: 2.0英寸(50.8mm) 厚度: 對(duì)于非磁性靶材，zui大厚度為1/4英寸對(duì)于磁性靶材，zui大厚度為1/16英寸靶材利用率：30% 磁鐵:NdFeB 稀土磁鐵
需要冷卻水	流速: 0.8 GPM 進(jìn)水溫度:<20 ℃ 水管:0.25" OD.
可選配件	當(dāng)同時(shí)購(gòu)買(mǎi)300W射頻發(fā)射器和2英寸磁控濺射頭時(shí)，本公司會(huì)贈(zèng)送一高真空快速接頭此快速接頭的內(nèi)徑為0.75英寸，可將濺射頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸，真空腔體的壁厚不得大于1英寸循環(huán)水冷機(jī)，流量為16L / min ，水箱容積為6L
質(zhì)保	一年質(zhì)保期，終生維護(hù)