雙靶磁控濺射儀是一款新型的鍍膜設(shè)備，可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。與同類設(shè)備相比，其不僅應(yīng)用廣泛，且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn),是一款實(shí)驗(yàn)室制備材料薄膜的理想設(shè)備。
雙靶磁控濺射儀操作規(guī)范：
雙靶磁控濺射儀開(kāi)機(jī)
1、打開(kāi)冷水機(jī)。設(shè)定溫度：冬天10-15℃，夏天5℃
2、打開(kāi)放氣閥破真空，然后關(guān)閉放氣閥（之后整個(gè)工作過(guò)程務(wù)必保證放氣閥均是關(guān)閉狀態(tài)。本機(jī)閥門均是逆時(shí)針打開(kāi)，順時(shí)針關(guān)閉）
3、打開(kāi)總控電源
4、打開(kāi)真空計(jì)（電阻單元真空范圍10Pa，電離單元0.1-10-6Pa）
5、打開(kāi)燈，檢查鍍膜腔是否關(guān)緊（觀察腔四周是否有光線）
6、打開(kāi)機(jī)械泵電磁閥，此時(shí)務(wù)必保證放氣閥已經(jīng)關(guān)閉?。?！
7、打開(kāi)預(yù)抽閥
8、當(dāng)壓強(qiáng)達(dá)到10Pa以下打開(kāi)分子泵→運(yùn)行→關(guān)閉預(yù)抽閥→*打開(kāi)插板閥
雙靶磁控濺射儀使用
1、當(dāng)腔內(nèi)壓強(qiáng)真空度達(dá)到要求后，打開(kāi)氣罐（指針調(diào)至刻度1-2之間），關(guān)小插板閥，儀器的工作氣壓為1-10Pa。
2、關(guān)閉電離單元按下“自動(dòng)”→電離→打開(kāi)進(jìn)氣閥→流量計(jì)（mL/min）
3、在保持輸入氣體比例基本不變的條件下調(diào)節(jié)進(jìn)氣量或者調(diào)節(jié)插板閥使氣壓處于1-10Pa，是5Pa，流量計(jì)開(kāi)關(guān)一般在“閥控”。
4、打開(kāi)射頻開(kāi)關(guān)“ON”觀察有無(wú)起灰，若無(wú)起灰再調(diào)節(jié)功率或進(jìn)氣量 關(guān)機(jī)
氣體流量計(jì)歸零→關(guān)閉狀態(tài)→關(guān)閉進(jìn)氣閥→關(guān)閉控氣閥→關(guān)閉插板閥→關(guān)閉氣瓶→射頻/直流功率歸零→“OFF” →溫度電源歸零關(guān)閉→流量計(jì)關(guān)閉→分子泵停止待轉(zhuǎn)速歸零→關(guān)閉開(kāi)關(guān)→關(guān)閉電磁閥→關(guān)閉機(jī)械泵→放氣閥打開(kāi)→放完氣以后關(guān)閉。
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