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上海無塵車間凈化等級劃分是依據(jù)什么?

發(fā)布時間:2023-09-05 21:45:41 人氣:5473


沾染等級個別分為100級、1000級、10000級、100000級,當初2010年版的GMP沾染車間已經(jīng)不必這個叫法了,分為ABCD級別,分辨絕對應于98版的多少個級別,通過檢測區(qū)域內(nèi)的塵埃粒子數(shù)、浮游菌數(shù)、沉降均數(shù)評估沾染級別,各個級別有不同的請求,沾染等級分靜態(tài)、動態(tài)兩種。

  (一)清潔室之等級
世界各國均有自定規(guī)格,但普遍還是用美國聯(lián)邦標準209為多,以下僅就209D及209E跟世界上其它各國制訂標準作介紹與彼此比較。凈化等級塵粒最大允許數(shù)/立方米≥0.5μm塵粒數(shù),500,≥5μm塵粒數(shù)0,微生物最大允許數(shù)浮游菌/立方米5,沉降菌/皿1。
209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位,清潔室等級以‵M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3….依此類推,配合國際公制單位之標準化,M字母后之阿拉伯數(shù)量字是以每破方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)量字以10的冪次方表示,取指數(shù)為之,若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。凈化等級塵粒最大允許數(shù)/立方米≥0.5μm塵粒數(shù),500,≥5μm塵粒數(shù)0,微生物最大允許數(shù)浮游菌/立方米5,沉降菌/皿1。 清潔網(wǎng)z:Wg1pj
美國聯(lián)邦標準FS 209D都以英制每破方英呎為單位,日本則是采取公制,即以每破方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計數(shù)標準。日本標準之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等級為Class 1,最差則為Class 8,以每破方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方,取其指數(shù)而得。

  (二)清潔室之定義
清潔室(Clean Room),亦稱為無塵室或清潔室?! 盖鍧嵤摇故侵笇⒁欢臻g范疇內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之沾染物消除,并將室內(nèi)之溫度、清潔度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流散布、噪音振動及照明、靜電把持在某一須要范疇內(nèi),而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不管外在之空氣前提如何變更,其室內(nèi)均能俱有堅持原來所設(shè)定請求之清潔度、溫濕度及壓力等機能之特點。
清潔室最重要之作用在于把持產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的清潔度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間咱們稱之為「清潔室」。
  (三)清潔室控管之名目

  1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

  2. 能避免微塵粒子之產(chǎn)生。

  3. 溫度跟濕度之把持。

  4. 壓力之調(diào)節(jié)。

  5. 有害氣體之消除。

  6. 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。

  7. 靜電之防制。

  8. 電磁煩擾防備。

  9. 保險因素之考慮。

  10. 節(jié)能之考量。凈化等級塵粒最大允許數(shù)/立方米≥0.5μm塵粒數(shù),500,≥5μm塵粒數(shù)0,微生物最大允許數(shù)浮游菌/立方米5,沉降菌/皿1。


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