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無塵室潔凈度檢測標(biāo)準(zhǔn)參考

發(fā)布時(shí)間:2023-06-25 21:41:38 人氣:3072

<a title="無塵室" >無塵室</a>潔凈度檢測標(biāo)準(zhǔn)參考無塵室潔凈度檢測標(biāo)準(zhǔn)參考1 目的

???規(guī)定無塵室潔凈區(qū)的控制指標(biāo)和檢測方法,有效的控制十萬級(jí)和三十萬級(jí)潔凈區(qū)環(huán)境的潔凈度,滿足生產(chǎn)環(huán)境的要求。


2 范圍

???本規(guī)程適用本公司十萬級(jí)和三十萬級(jí)潔凈區(qū)環(huán)境的潔凈度檢驗(yàn)。

3 檢驗(yàn)方法

3.1 檢驗(yàn)項(xiàng)目

???溫度、濕度、壓差、風(fēng)速(換氣次數(shù))、塵埃粒子數(shù)、菌落數(shù)


3.2 溫度、濕度

3.2.1 要求

???十萬級(jí)/三十萬級(jí)潔凈區(qū)溫度(18-26)℃,相對(duì)濕度(45-65)%

3.2.2 儀器與設(shè)備

???溫濕度計(jì)

3.2.3 操作方法

???目測溫濕度計(jì)。

3.2.4 測定頻次?

1次/班。


3.3 靜壓差

3.3.1 要求

潔凈室與室外壓差≥10Pa,潔凈室與非潔凈室≥5Pa不同級(jí)別潔凈室之間≥5Pa。

3.3.2 儀器與設(shè)備:補(bǔ)償式微壓計(jì)

3.3.3 操作方法

???用補(bǔ)償式微壓計(jì)測試各室的靜壓力,由兩室靜壓力之差,為靜壓差。

3.3.4 測定頻次:1次/月


3.4 換氣次數(shù)

3.4.1 要求

???十萬級(jí)潔凈區(qū)換氣次數(shù)>15次

三十萬級(jí)潔凈區(qū)換氣次數(shù)>12次

3.4.2 儀器與設(shè)備:熱球式電風(fēng)速計(jì)。

3.4.3 操作方法距風(fēng)口下25cm處測量

3.4.3.1 用風(fēng)速計(jì)風(fēng)速,采樣點(diǎn)為風(fēng)口的四個(gè)頂角及中心位置(不少于5點(diǎn))。計(jì)算5個(gè)點(diǎn)風(fēng)速平均值。為一個(gè)風(fēng)口的風(fēng)速。

3.4.3.2 換算公式:

??????????????????∑(高效風(fēng)口風(fēng)速×高效風(fēng)口面積)

????換氣次數(shù)=?──────────────────

??????????????????????????????被測間體積

3.4.4 測定頻次:1次/月


3.5 塵埃粒子數(shù)

3.5.1 要求

十萬級(jí)潔凈區(qū)塵埃粒子數(shù):?≥0.5μm:≤3500個(gè)/L

?????????????????????????≥5.0μm:≤20個(gè)/L

三十萬級(jí)潔凈區(qū)塵埃粒子數(shù):≥0.5μm:≤10500個(gè)/L

≥5.0μm:≤60個(gè)/L

3.5.2 儀器與設(shè)備:塵埃粒子計(jì)數(shù)儀

3.5.3 采樣點(diǎn)

根據(jù)面積,要求最少采樣點(diǎn)見下表:

面積,(m2)

潔凈度級(jí)別

10000

100000

300000

≤10

≥10~<20

≥20~<40

≥40~<100

≥100~<200

≥200~<400

≥400~<1000

≥1000~<2000

≥2000

2

2

2

4

10

20

40

100

200

2

2

2

2

3

6

13

32

63



3.5.4 操作方法

用塵埃粒子計(jì)數(shù)儀在高度1米水平面上的位置采樣,每層采樣點(diǎn)不少于5點(diǎn),每個(gè)采樣點(diǎn)采樣次數(shù)不少于5次。采樣點(diǎn)見附件1。??


3.5.5 換算公式


?????????????5次測量數(shù)的總和

塵埃粒子數(shù)=?─────────

???????????????????5

3.5.6 測定頻次 :1次/季


3.6 菌落數(shù)

3.6.1 要求

??浮游菌?十萬級(jí)潔凈區(qū)含菌濃度≤500個(gè)/m3

??沉降菌?十萬級(jí)潔凈區(qū)含菌濃度≤10個(gè)/皿

??????????三十萬級(jí)潔凈區(qū)含菌濃度≤15個(gè)/皿


3.6.2 檢測方法

按《微生物檢驗(yàn)規(guī)范》的規(guī)定進(jìn)行。

3.6.5 測定頻次:浮游菌?1次/季;沉降菌?1次/周


4 測定條件

4.1 當(dāng)新潔凈區(qū)投入使用前,進(jìn)行一次靜態(tài)環(huán)境監(jiān)測,監(jiān)測時(shí),潔凈區(qū)內(nèi)所有物品均應(yīng)到位,檢測區(qū)內(nèi)只留檢測人員,檢測結(jié)果應(yīng)符合3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1條的要求。如不合格應(yīng)重新對(duì)凈化系統(tǒng)進(jìn)行檢查,查找原因,進(jìn)行整改后,再進(jìn)行檢測,合格后方可投入使用,否則不得進(jìn)入生產(chǎn)。

4.2 所有在用潔凈區(qū),按本規(guī)程的要求進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢測,檢測結(jié)果應(yīng)符合3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1條的要求。如不合格由技術(shù)品質(zhì)部告知生產(chǎn)部,通知超標(biāo)車間停產(chǎn),由生產(chǎn)部、技術(shù)品質(zhì)部、生產(chǎn)車間組織人員查找原因,進(jìn)行整改后,再進(jìn)行檢測,合格后方可投入使用。


附件1?塵埃粒子檢測點(diǎn)

附件2?沉降菌檢測點(diǎn)

附件3?浮游菌檢測點(diǎn)


原文


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