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當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 薄膜制備全套設(shè)備 > 3靶等離子濺射儀 > VTC-16-3HD3靶等離子濺射儀
簡(jiǎn)要描述：VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認(rèn)證的等離子薄膜濺射儀（直流普通型），基片Z大尺寸2英寸，加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料，金靶，銀，銅, 它可以與真空泵，不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.
產(chǎn)品型號(hào)：VTC-16-3HD 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-02-10訪 問 量：4120詳細(xì)介紹
3靶等離子濺射儀技術(shù)參數(shù)
| 輸入功率 |
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| 輸出功率 |
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| 樣品室 | 石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height |
| 加熱樣品臺(tái) |
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| 控制面板 |
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| 可選
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| 進(jìn)氣口 | 一個(gè)精密可調(diào)針閥安裝在進(jìn)氣口，以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量 |
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標(biāo)配靶材分別有
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| 外形尺寸 |
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| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，終身維護(hù)。 |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | |
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